德國Hellma氟化鈣（CaF?）晶體技術參數

一、基礎技術參數

• 產品名稱：氟化鈣晶體（CaF?晶體）

• 原材料純度：高純度原材料

• 生產工藝：成熟合成晶體生長工藝

• 生產產地：德國耶拿

• 產品類型：多晶、單晶兩種可選

二、核心光學性能參數

• 透光波段范圍：130nm（深紫外）~9μm（紅外），覆蓋真空紫外（VUV）、深紫外（DUV）、可見光、紅外（IR）全波段

• 折射率均勻性：優于0.5ppm

• 應力雙折射：≤0.5nm/cm

• 激光耐久性：適配193nm、248nm等準分子激光波長，具備優異長期穩定工作性能

• 光譜色散：低色散特性，阿貝數95.23

• 非線性折射率：低非線性折射率

• 環境耐受性：優異的真空環境適應性、高能輻射環境穩定性

三、規格定制參數

• 尺寸：多晶直徑可達440mm，單晶直徑可達250mm；厚度可定制至150mm

• 晶體取向：支持<111>、<100>及隨機取向定制

• 表面質量：可選原始、切割、研磨、拋光等多種處理精度

四、質量認證與檢測標準

• 質量管理體系認證：ISO 9001/14001認證

• 認證：DAkkS認證

• 符合標準：DIN EN ISO/IEC 17025標準

• 檢測項目：全流程覆蓋光學性能、機械性能、環境穩定性檢測，確保批次品質一致性

五、典型應用技術適配場景

• 半導體微光刻：248nm、193nm微光刻技術照明/投影光學系統

• 真空技術：空間濾光片、壓縮機室真空窗口

• 科研與醫療：紅外光譜傳感器、醫用激光器、光學相干斷層成像設備

• 天文觀測：高分辨率天文觀測設備光學組件

• 特殊環境：天基光學器件（高能輻射環境）

六、技術服務參數

• 解決方案：提供標準化產品及定制化參數設計、加工服務

• 技術支持：全鏈條技術支持體系（晶體參數設計-加工-檢測-交付）